目前國內外治理有機廢氣比較普遍的方法有吸附法、吸收法、催化燃燒、等離子、生物處理法、光催化氧化等，各種方法的使用條件及優缺點比較如下：

（1）活性炭吸附技術無二次污染、投資成本較低，一般適合于污染物濃度低于2000mg/m3以下的有機廢氣處理，在酸性環境下的吸附效果優于堿性環境，且其他溫度最好為常溫，若廢氣溫度過高，可選配氣體冷卻裝置來降低廢氣溫度，使之達到活性炭最佳吸附狀態，但需要考慮吸附劑的定期更換，脫附時還有可能造成二次污染。

（2）溶劑吸收法無二次污染、投資和運行成本較低，主要適用于高濃度有機廢氣或者大風量低濃度的有機廢氣處理。

（3）催化燃燒技術會產生二次污染、投資和運行成本較高，一般適合污染物濃度在2000～6000mg/m3之間的有機廢氣處理，若廢氣溫度大于180℃，廢氣濃度可低于2000mg/m3，但如廢氣中含有硫等可能使催化劑中毒的成分則不適合該技術。

（4）生物處理技術無二次污染、投資成本較低，適宜于處理凈化氣量較小、污染物濃度較大、易溶于生物代謝速率較低的廢氣處理，通常廢氣中的TOC（總有機碳）應在1000mg/m3以下，廢氣流量小于50000mg/m3，廢氣溫度小于40℃。

（5）等離子體是一種聚集態物質，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿產生包括電子、各種離子原子和自由基在內的混合體，其所擁有的高能電子同煙氣中的分子碰撞時，發生一系列基元反應，并在反應過程中產生多種活性自由基和生態氧，即臭氧分解而產生的原子氧，這些強氧化性的活性氧迅速與煙氣中的有機分子碰撞并將其破壞，或者高能活性氧激活空氣中的氧分子而產生二次活性氧，二次活性氧與煙氣中的有機分子產生一系列鏈式反應，并利用自身反應產生的能量維系氧化反應，進一步氧化有機物質，最終生成無機氧化物和水，體積小，能耗低，運行穩定，操作簡單，不產生二次污染，對有機廢氣處理效率一般為70%。

（6）光催化氧化技術：通過采用高能高臭氧紫外線光束讓空氣中的氧分子產生游離氧進而產生臭氧。臭氧氧化作用很強，氧在光的作用下可產生大量的新生態氫、活性氧和羥基氧等活性基團，從而最終轉化為CO2和H2O等，最終去除惡臭。由于光量子的平均能量在1eV～7eV的水平，適當控制反應條件就可實現較難實現的化學反應變得十分快速，最終增加反應器工作效率能力。

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